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Verbundvorhaben DIANA: Entwicklung des Diamantdraht-Trennprozesses und notwendiger Reinigungstechnologie zur Silizium-Waferherstellung; Teilvorhaben: Weiterentwicklung der auf die Waferreinigung einflussnehmenden Waferfertigungsprozesse.

Zeitraum
2016-07-01  –  2017-05-12
Bewilligte Summe
622.044,61 EUR
Ausführende Stelle
SolarWorld Innovations GmbH, Freiberg
Förderkennzeichen
0324087A

Verbundvorhaben DIANA: Entwicklung des Diamantdraht-Trennprozesses und notwendiger Reinigungstechnologien zur Silizium-Waferherstellung; Teilvorhaben: Analyse und Optimierung der Trenn- und Reinigungsprozesse.

Zeitraum
2016-07-01  –  2019-06-30
Bewilligte Summe
2.532.874,00 EUR
Ausführende Stelle
Fraunhofer-Center für Silizium-Photovoltaik CSP, Halle (Saale)
Förderkennzeichen
0324087B

Verbundvorhaben DIANA: Entwicklung des Diamantdraht-Trennprozesses und notwendiger Reinigungstechnologien zur Silizium-Waferherstellung; Teilvorhaben: Evaluierung der Draht & Drahtführungsrollengeometrie

Zeitraum
2016-07-01  –  2019-06-30
Bewilligte Summe
245.402,00 EUR
Ausführende Stelle
Siltronic AG, Freiberg
Förderkennzeichen
0324087C

Verbundvorhaben DIANA: Entwicklung des Diamantdraht-Trennprozesses und notwendiger Reinigungstechnologien zur Silizium-Waferherstellung; Teilvorhaben: Wiederverwertung des gebrauchten Kühlschmierstoffes aus dem Diamantdraht-Wafersägeprozess

Zeitraum
2016-07-01  –  2019-06-30
Bewilligte Summe
194.780,61 EUR
Ausführende Stelle
SiC Processing (Deutschland) GmbH, Bautzen
Förderkennzeichen
0324087D