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Verbundvorhaben: POLDI - Hochdurchsatz Technologie für Hocheffiziente (selektive) Emitter mittels Niederdruck POCl3-Diffusion und Laserdotieren; Teilvorhaben: Anlagen- und Prozessentwicklung Diffusion

Zeitraum
2016-09-01  –  2020-08-31
Bewilligte Summe
309.588,00 EUR
Ausführende Stelle
centrotherm international AG, Blaubeuren
Förderkennzeichen
0324079A

Verbundvorhaben: POLDI - Hochdurchsatz Technologie für Hocheffiziente (selektive) Emitter mittels Niederdruck POCl3-Diffusion und Laserdotieren; Teilvorhaben: Anlagenentwicklung für das selektive Laserdotieren

Zeitraum
2016-09-01  –  2020-08-31
Bewilligte Summe
385.940,93 EUR
Ausführende Stelle
3D-Micromac AG, Chemnitz
Förderkennzeichen
0324079C

Verbundvorhaben: POLDI - Hochdurchsatz Technologie für Hocheffiziente (selektive) Emitter mittels Niederdruck POCl3-Diffusion und Laserdotieren; Teilvorhaben: Prozessentwicklung und Integration

Zeitraum
2016-09-01  –  2020-08-31
Bewilligte Summe
1.841.499,00 EUR
Ausführende Stelle
Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme (ISE), Freiburg im Breisgau
Förderkennzeichen
0324079D