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Verbundvorhaben: SIMPLEX - Hocheffiziente Vakuumbeschichtungen von passivierenden Schichtsystemen auf c-Si Solarzellen, Teilprojekt: Erstellung PECVD-Plasmareaktor und Analyse des Plasmaprozesses

Zeitraum
2014-10-01  –  2017-12-31
Bewilligte Summe
350.082,32 EUR
Ausführende Stelle
Singulus Technologies Aktiengesellschaft, Kahl a. Main
Förderkennzeichen
0325754A

Verbundvorhaben: SIMPLEX - Hocheffiziente Vakuumbeschichtungen von passivierenden Schichtsystemen auf c-Si Solarzellen, Teilprojekt: Chemische Charakterisierung und Echtzeitüberwachung des Prozessplasmas

Zeitraum
2014-10-01  –  2017-12-31
Bewilligte Summe
71.827,00 EUR
Ausführende Stelle
Plasus GmbH, Mering
Förderkennzeichen
0325754B

Verbundvorhaben: SIMPLEX - Hocheffiziente Vakuumbeschichtungen von passivierenden Schichtsystemen auf c-Si Solarzellen, Teilprojekt Monitoring des Schichtwachstums ultradünner dielektrischer Schichten

Zeitraum
2014-10-01  –  2017-12-31
Bewilligte Summe
262.064,65 EUR
Ausführende Stelle
Sentech Instruments GmbH, Berlin
Förderkennzeichen
0325754C

Verbundvorhaben: SIMPLEX - Hocheffiziente Vakuumbeschichtungen von passivierenden Schichtsystemen auf c-Si Solarzellen, Teilprojekte: PECVD-Prozesse, Herstellung und Charakterisierung (ISE) / Simulationen (IST)

Zeitraum
2014-10-01  –  2017-12-31
Bewilligte Summe
710.470,00 EUR
Ausführende Stelle
Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme (ISE), Freiburg im Breisgau
Förderkennzeichen
0325754D

Verbundvorhaben: SIMPLEX - Hocheffiziente Vakuumbeschichtungen von passivierenden Schichtsystemen auf c-Si Solarzellen, Teilprojekt: Simulation, Experiment, Charakterisierung, Kostenrechnung

Zeitraum
2014-10-01  –  2017-12-31
Bewilligte Summe
225.278,92 EUR
Ausführende Stelle
Plasmetrex GmbH, Berlin
Förderkennzeichen
0325754F