2014-09-01  –  2017-12-31

658.408,00 EUR

Institut für Solarenergieforschung GmbH, Emmerthal, Niedersachsen

0325753D

Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]

01154676/1  –  Hocheffiziente PERC Solarzellen mit produktionstauglicher Zellrückseite

Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)

Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)

Energie

Das ISFH geführte Teilvorhaben unterstützt das HighPERC Projekt insbesondere bei der Entwicklung neuer, verbesserter Einzelprozesse für hocheffiziente PERC (Passivated Emitter Rear Cell) Solarzellen in enger Kooperation mit den beteiligten Anlagenbauern SINGULUS, LPKF und DEK. Die Anlagenbauer wiederum bringen in das HighPERC Projekt ebenfalls Einzelprozess-Entwicklungen ein sowie zum Teil auch die Entwicklung von neuen Prozessanlagen. Das ISFH unterstützt die Prozessentwicklungen der Anlagenbauer und entwickelt selbst einen hochwertigen, in Teilen laborartigen PERC Referenzprozess mit Wirkungsgraden bis 22,0% als Benchmark und Entwicklungsplattform für die industriellen Fertigungsprozesse. Während der HighPERC Projektlaufzeit sollen alle neu entwickelten Produktionsprozesse in einen produktionsreifen PERC Gesamtprozess integriert werden sowohl für monokristalline als auch multikristalline Silizium Wafer mit Wirkungsgraden bis 21,5%. Das ISFH Teilvorhaben gliedert sich in 6 Arbeitspakete (AP). In AP1 entwickelt das ISFH in Kooperation mit SINGULUS und Stangl neue nasschemische Politur- und Reinigungsprozesse sowie ICP PECVD Abscheideprozesse zur Oberflächenpassivierung von industriellen PERC Solarzellen. In AP2 und AP3 unterstützt das ISFH LPKF bei der Entwicklung neuer Laserprozesse für die Kontaktöffnung von PERC Solarzellen sowie bei der entsprechenden Anlagenentwicklung. In AP4 entwickelt das ISFH gemeinsam mit DEK neue Feinliniendruck Prozesse für hohe Wirkungsgrade und einen geringen Ag Verbrauch. Der industrienahe, hocheffiziente PERC Referenzprozess des ISFH wir in AP5 weiter optimiert mit Wirkungsgraden bis 22,0%. In AP6 werden dann die neuen Produktionsprozesse aus AP1 - 4 auf den PERC Referenzprozess aus AP5 übertragen zu einem produktionstauglichen PERC Prozess mit Wirkungsgraden über 21,5%.