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Verbundvorhaben: POLO - Elegante Kombinationen von lokalen Dotiertechniken und Si-Abscheidemethoden zur kostengünstigen Herstellung von poly-/monokristallinen Si-Übergängen, Teilvorhaben: Entwicklung und Evaluation der Kombination von Dotiertechniken und Abscheidemethoden

Zeitraum
2014-08-01  –  2017-12-31
Bewilligte Summe
845.000,00 EUR
Ausführende Stelle
Institut für Solarenergieforschung GmbH, Emmerthal
Förderkennzeichen
0325702A

Verbundvorhaben: POLO - Elegante Kombinationen von lokalen Dotiertechniken und Si-Abscheidemethoden zur kostengünstigen Herstellung von poly-/monokristallinen Si-Übergängen; Teilvorhaben: Evaluation von Prozessen zur Herstellung von poly-/monokristallinen Si-Übergängen mit lokalen Dotiertechniken

Zeitraum
2014-08-01  –  2017-07-31
Bewilligte Summe
234.741,61 EUR
Ausführende Stelle
Leibniz Universität Hannover - Fakultät für Elektrotechnik und Informatik - Institut für Materialien und Bauelemente der Elektronik, Hannover
Förderkennzeichen
0325702B

Verbundvorhaben: POLO - Elegante Kombinationen von lokalen Dotiertechniken und Si-Abscheidemethoden zur kostengünstigen Herstellung von poly-/monokristallinen Si-Übergängen, Teilvorhaben: Evaluierung und Weiterentwicklung von LPCVD-Prozessen für intrinsische und dotierte poly-Si-Abscheidungen

Zeitraum
2014-08-01  –  2017-07-31
Bewilligte Summe
204.088,85 EUR
Ausführende Stelle
centrotherm international AG, Hannover
Förderkennzeichen
0325702C