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search_results: 4 Vorhaben gefunden
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Verbundprojekt: Inline-Plasmaätzanlage für die Solarzellenfertigung

Zeitraum
2001-04-01  –  2003-12-31
Bewilligte Summe
380.537,00 EUR
Ausführende Stelle
Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme (ISE), Freiburg im Breisgau
Förderkennzeichen
0329879E

Verbundprojekt: Inline-Plasmaätzanlage für die Solarzellenfertigung

Zeitraum
2001-04-01  –  2003-12-31
Bewilligte Summe
184.375,00 EUR
Ausführende Stelle
Schmid Technology Systems GmbH, Niedereschach
Förderkennzeichen
0329879F

Verbundprojekt: Inline-Plasmaätzanlage für die Solarzellenfertigung - Teilvorhaben: Hohlkathoden-Plasmaquellen

Zeitraum
2001-04-01  –  2003-12-31
Bewilligte Summe
311.056,69 EUR
Ausführende Stelle
Forschungszentrum für Mikrostrukturtechnik (fmt) an der Bergischen Universität Wuppertal, Wuppertal
Förderkennzeichen
0329879G

Verbundprojekt: Inline-Plasmaätzanlage für die Solarzellenfertigung - Teilvorhaben: 'Entwurf, Konstruktion und Erstellung eines Demonstrators'

Zeitraum
2001-04-01  –  2003-12-31
Bewilligte Summe
586.955,00 EUR
Ausführende Stelle
Meyer Burger (Germany) GmbH, Hohenstein-Ernstthal
Förderkennzeichen
0329879H