Verbundprojekt Drahtsägen - Teilvorhaben: Experimentelle Grundlagenuntersuchungen zur akustischen Steuerung des Drahtsägens von Siliciumwafern bei hoher Flächenerzeugungsrate
Zeitraum
1999-05-01 – 2003-12-31
Bewilligte Summe
1.945.925,77 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0329667F/5
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Basismaterial [EB1011]
Verbundvorhaben
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
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