Verbundprojekt Drahtsägen - Teilvorhaben: Experimentelle Grundlagenuntersuchungen zum Abrasionsverhalten beim Drahtsägen von Siliciumwafern
Zeitraum
1995-08-01 – 1998-07-31
Bewilligte Summe
688.813,51 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0329667B/4
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Basismaterial [EB1011]
Verbundvorhaben
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
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