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1990-1999 (1)
2000-2009 (6)
2010-2019 (12)
2020-2029 (4)
Bewilligte Summe
100.000 EUR-200.000 EUR (1)
200.000 EUR-500.000 EUR (5)
500.000 EUR-1 Mio. EUR (7)
1 Mio. EUR-2 Mio. EUR (5)
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Land
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Verbundvorhaben: HoverGaN - Holistische Entwicklung von vertikalen GaN Transistoren für Betriebsspannungen bis 1.7kV; Teilvorhaben: Untersuchungen und Anpassungen von CVD-Anlagen und in-situ Messtechnik für ein innovatives Monitoring des Schichtwachstums auf nativen GaN Substraten
Zeitraum
2022-06-01 – 2025-05-31
Bewilligte Summe
744.057,66 EUR
Ausführende Stelle
AIXTRON SE, Herzogenrath
Förderkennzeichen
03EN4033D
Verbundvorhaben MehrSi: Hocheffiziente III-V Mehrfachsolarzellen auf Silicium - Strukturelle Charakterisierung von Solarzellenstrukturen mittels Elektronenmikroskopie -
Zeitraum
2015-09-01 – 2019-02-28
Bewilligte Summe
819.134,02 EUR
Ausführende Stelle
Philipps-Universität Marburg - Fachbereich Physik und WZMW, Marburg
Förderkennzeichen
03SF0525C
Neue Pufferschichten mit MOCVD-Verfahren für CIS-Solarmodule (NePuMOC)
Zeitraum
2005-03-01 – 2008-04-30
Bewilligte Summe
972.374,00 EUR
Ausführende Stelle
AIXTRON SE, Herzogenrath
Förderkennzeichen
0327501B
Verbundvorhaben: SiC - Steigerung der Energieeffizienz bei der SiC-Epitaxie; Teilvorhaben: Umsetzung von KI-gestützten Optimierungsstrategien für fortschrittliche Halbleiterproduktion
Zeitraum
2024-06-01 – 2027-05-31
Bewilligte Summe
1.198.637,35 EUR
Ausführende Stelle
bimanu Cloud Solutions GmbH, Neuss
Förderkennzeichen
03EN4084C
Herstellung Organischer Solarzellen durch Organic Vapour Phase Deposition (OVPD)
Zeitraum
2003-12-01 – 2007-11-30
Bewilligte Summe
1.213.222,00 EUR
Ausführende Stelle
AIXTRON SE, Herzogenrath
Förderkennzeichen
0329927B
Verbundvorhaben: MOCVD4.2 - Optimierte Produktion von Verbindungshalbleitern für erhöhte Wirkungsgrade in der Energieversorgung; Teilvorhaben: Analyse und Bewertung der Effekte bezüglich der Bauelemente für die Leistungselektronik
Zeitraum
2019-01-01 – 2021-12-31
Bewilligte Summe
1.228.897,44 EUR
Ausführende Stelle
Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Stuttgart
Förderkennzeichen
0324237C
Verbundvorhaben MehrSi: Hocheffiziente III-V Mehrfachsolarzellen auf Silicium - 'Epitaxie, Prozessierung und Charakterisierung von III-V Mehrfachsolarzellen auf Silicium' -
Zeitraum
2015-09-01 – 2019-02-28
Bewilligte Summe
1.375.692,93 EUR
Ausführende Stelle
Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme (ISE), Freiburg im Breisgau
Förderkennzeichen
03SF0525A
Herstellung Organischer Solarzellen durch Organic Vapour Phase Deposition (OVPD)
Zeitraum
2003-12-01 – 2007-11-30
Bewilligte Summe
1.783.634,00 EUR
Ausführende Stelle
Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie Gesellschaft mit beschränkter Haftung, Berlin
Förderkennzeichen
0329927A
MOCVD4.1 - Optimierte Produktion (MOCVD 4.0) von Verbindungshalbleitern für erhöhte Wirkungsgrade in der Energieversorgung
Zeitraum
2017-09-01 – 2018-08-31
Bewilligte Summe
2.007.235,00 EUR
Ausführende Stelle
AIXTRON SE, Herzogenrath
Förderkennzeichen
0324237
Verbundvorhaben: SiC - Steigerung der Energieeffizienz bei der SiC-Epitaxie; Teilvorhaben: SiC-Epitaxieentwicklung für die nächste Bauelementegeneration
Zeitraum
2024-06-01 – 2027-05-31
Bewilligte Summe
2.170.068,95 EUR
Ausführende Stelle
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie, Erlangen
Förderkennzeichen
03EN4084B
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