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Beginn
1990-1999 (1)
2000-2009 (6)
2010-2019 (12)
2020-2029 (4)
Bewilligte Summe
100.000 EUR-200.000 EUR (1)
200.000 EUR-500.000 EUR (5)
500.000 EUR-1 Mio. EUR (7)
1 Mio. EUR-2 Mio. EUR (5)
2 Mio. EUR-3 Mio. EUR (2)
3 Mio. EUR-4 Mio. EUR (1)
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Land
Baden-Württemberg (5)
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Thüringen (1)
Zuwendungsgeber
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Verbundvorhaben: HoverGaN - Holistische Entwicklung von vertikalen GaN Transistoren für Betriebsspannungen bis 1.7kV; Teilvorhaben: Untersuchungen und Anpassungen von CVD-Anlagen und in-situ Messtechnik für ein innovatives Monitoring des Schichtwachstums auf nativen GaN Substraten
Zeitraum
2022-06-01 – 2026-05-31
Bewilligte Summe
744.057,66 EUR
Ausführende Stelle
AIXTRON SE, Herzogenrath
Förderkennzeichen
03EN4033D
Verbundvorhaben: SiC - Steigerung der Energieeffizienz bei der SiC-Epitaxie; Teilvorhaben: Umsetzung von KI-gestützten Optimierungsstrategien für fortschrittliche Halbleiterproduktion
Zeitraum
2024-06-01 – 2027-05-31
Bewilligte Summe
1.198.637,35 EUR
Ausführende Stelle
bimanu Cloud Solutions GmbH, Neuss
Förderkennzeichen
03EN4084C
Verbundprojekt: Entwicklung einer neuen Dünnschichttechnologie für die Photovoltaik: Technische Umsetzung des CCSVT-Verfahren am Beispiel des Cu(In, Ga) Se2-Solarzellenbasis-Materials
Zeitraum
2000-08-01 – 2003-07-31
Bewilligte Summe
622.659,43 EUR
Ausführende Stelle
AIXTRON SE, Herzogenrath
Förderkennzeichen
0329740A
Entwicklung einer neuen Dünnschichttechnologie für die Photovoltaik: CSVT-Verfahren im offenen System zur Herstellung von ZnSe/CuGa Se2-Heterodioden
Zeitraum
1996-08-01 – 2000-07-31
Bewilligte Summe
3.476.856,29 EUR
Ausführende Stelle
Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie Gesellschaft mit beschränkter Haftung, Berlin
Förderkennzeichen
0329740 /6
Neue Pufferschichten mit MOCVD-Verfahren für CIS-Solarmodule (NePuMOC)
Zeitraum
2005-03-01 – 2008-04-30
Bewilligte Summe
972.374,00 EUR
Ausführende Stelle
AIXTRON SE, Herzogenrath
Förderkennzeichen
0327501B
Verbundprojekt: OptiKeraLyt - Material- und Produktionsprozessoptimierung für Lithium-Ionen-Batterien mit keramischen Festkörperelektrolyten; Teilvorhaben: Silizium-Anodenanbindungtechnologie
Zeitraum
2019-01-01 – 2022-06-30
Bewilligte Summe
299.358,16 EUR
Ausführende Stelle
AIXTRON SE, Herzogenrath
Förderkennzeichen
03ETE016A
Verbundvorhaben: MOCVD4.2 - Optimierte Produktion von Verbindungshalbleitern für erhöhte Wirkungsgrade in der Energieversorgung; Teilvorhaben: Konzeption und industrielle Bewertung
Zeitraum
2019-01-01 – 2022-12-31
Bewilligte Summe
697.719,00 EUR
Ausführende Stelle
AZUR SPACE Solar Power GmbH, Heilbronn
Förderkennzeichen
0324237E
Kadmiumfreie CIS-Module: Verfahrensentwicklung
Zeitraum
2005-03-01 – 2008-04-30
Bewilligte Summe
118.348,00 EUR
Ausführende Stelle
Würth Solar GmbH & Co. KG, Schwäbisch Hall
Förderkennzeichen
0327501A
Verbundvorhaben MehrSi: Hocheffiziente III-V Mehrfachsolarzellen auf Silicium 'MOCVD-Technologie für Hocheffiziente III-V-Mehrfachsolarzellen auf Silicium'
Zeitraum
2015-09-01 – 2019-02-28
Bewilligte Summe
432.765,00 EUR
Ausführende Stelle
AIXTRON SE, Herzogenrath
Förderkennzeichen
03SF0525D
Verbundvorhaben: SiC - Steigerung der Energieeffizienz bei der SiC-Epitaxie; Teilvorhaben: SiC-Epitaxieentwicklung für die nächste Bauelementegeneration
Zeitraum
2024-06-01 – 2027-05-31
Bewilligte Summe
2.170.068,95 EUR
Ausführende Stelle
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB), Erlangen
Förderkennzeichen
03EN4084B
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