2019-12-01  –  2022-03-31

189.687,73 EUR

ISRA VISION GmbH, Darmstadt, Hessen

03EE1043D

Kristallines Silizium Basismaterial [EB1011]

01192625/1  –  EPI-Inspec - Inspektion von EpiWafern und deren Vorstufen

Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)

Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)

Energie

Die übergeordnete Intention des Projekts ist die Entwicklung der benötigten Charakterisierungs-methoden für die Herstellung von kerfless-Wafern im Allgemeinen und die EpiWafer Technologie im Speziellen. Da dies bisher nur sehr eingeschränkt möglich ist, sollen in diesem Projekt umfassende Grundlagen auf vier Ebenen gelegt werden: 1. Inline-Inspektion und 2. Datenanalyse: Entwicklung und Evaluation von inline-tauglichen Inspektionsmethoden zur Identifikation der relevanten Defekte in den unterschiedlichen Produktionsstadien des EpiWafers, Erweiterung bestehender Inspektionsautomaten zur Prozessbegleitung sowie Entwicklung von Netzwerkmodellen zur automatischen und quantitativen Identifikation der relevanten Defekt in den gewonnenen Bilddaten mittels Machine-Learning. 3. Detailanalyse: Etablierung von Methoden für Detailanalysen zur Ermittlung der physikalischen Ursachen auftretender Prozessprobleme sowie Verstehen und Bewerten relevanter Defekte durch Detailcharakterisierung an ausgewählten Proben zur Klärung der mikroskopischen Ursachen und zur Entwicklung von Strategien zur Beseitigung 4. Prozessverständnis: Verständnis für Ablöseprobleme zur Steigerung der Ablöseausbeute sowie Verständnis der elektrischen Limitierungen zur Steigerung der Waferqualität Das vorliegende Teilvorhaben fokussiert sich auf die Erforschung von Möglichkeiten zur neuartigen Qualitätsinspektion bzgl. größerer Gitterfehler mittels spektraler Analyse sowie von Möglichkeiten zum Auffinden kleinster Fehler (so genannte Pinholes).