Verbundvorhaben: Epi-lnspec - Inspektion von EpiWafern und deren Vorstufen, Teilvorhaben: Datenanalyse und Defektbewertung sowie Referenzproben und Anforderungsprofile für die Methodenentwicklung einschließlich Methodenevaluation
Zeitraum
2019-12-01 – 2021-12-31
Bewilligte Summe
549.116,00 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
03EE1043A
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Basismaterial [EB1011]
Verbundvorhaben
01192625/1 – EPI-Inspec - Inspektion von EpiWafern und deren Vorstufen
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Die übergeordnete Intention des Projekts ist die Entwicklung der benötigten Charakterisierungs-methoden für die Herstellung von kerfless-Wafern im Allgemeinen und die EpiWafer Technologie im Speziellen. Da dies bisher nur sehr eingeschränkt möglich ist, sollen in diesem Projekt umfassende Grundlagen auf vier Ebenen gelegt werden: 1. Inline-Inspektion und 2. Datenanalyse: Entwicklung und Evaluation von inline-tauglichen Inspektionsmethoden zur Identifikation der relevanten Defekte in den unterschiedlichen Produktionsstadien des EpiWafers, Erweiterung bestehender Inspektionsautomaten zur Prozessbegleitung sowie Entwicklung von Netzwerkmodellen zur automatischen und quantitativen Identifikation der relevanten Defekt in den gewonnenen Bilddaten mittels Machine-Learning. 3. Detailanalyse: Etablierung von Methoden für Detailanalysen zur Ermittlung der physikalischen Ursachen auftretender Prozessprobleme sowie Verstehen und Bewerten relevanter Defekte durch Detailcharakterisierung an ausgewählten Proben zur Klärung der mikroskopischen Ursachen und zur Entwicklung von Strategien zur Beseitigung 4. Prozessverständnis: Verständnis für Ablöseprobleme zur Steigerung der Ablöseausbeute sowie Verständnis der elektrischen Limitierungen zur Steigerung der Waferqualität Im Teilprojekt soll der Materialfluss der zu charakterisierenden Proben sowohl aus dem aktuell laufenden Förderprojekt Epi-Poesie FKZ 0324290A als auch aus der Pilotfertigung von NexWafe koordiniert werden. Darüber hinaus soll dedizierte Proben zur Charakterisierung angefertigt und die erzielten Ergebnisse bewertet werden.
Weitere Informationen