Verbundprojekt: Entwicklung einer CVD-Anlage zur großflächigen Abscheidung von Solar-Silicium
Zeitraum
1999-10-01 – 2003-12-31
Bewilligte Summe
917.535,01 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0329852A/3
Leistungsplansystematik
Dünnschichttechnologien Silizium [EB1021]
Verbundvorhaben
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
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