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Verbundvorhaben: EpiPower - Prozess- und Anlagenentwicklung für epitaktisch prozessierte Wafer; Teilvorhaben: Prozessentwicklung für Hochdurchsatz inline-Anlagen zur Herstellung und inline Charakterisierung für Epiaktische Wafer

Zeitraum
2016-11-01  –  2018-10-31
Bewilligte Summe
1.778.455,00 EUR
Ausführende Stelle
Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme (ISE), Freiburg im Breisgau
Förderkennzeichen
0324135B

Verbundvorhaben: EpiPower - Prozess- und Anlagenentwicklung für epitaktisch prozessierte Wafer; Teilvorhaben: Entwicklung von Hochdurchsatz-Prozessen und Anlagen für epiaktische Wafer

Zeitraum
2016-11-01  –  2018-12-31
Bewilligte Summe
1.429.327,00 EUR
Ausführende Stelle
NexWafe GmbH, Freiburg im Breisgau
Förderkennzeichen
0324135A

Verbundvorhaben: EpiPower - Prozess- und Anlagenentwicklung für epitaktisch prozessierte Wafer; Teilvorhaben: Entwicklung von Hochdurchsatz inline-Anlagen für anodisch geätzte poröse Siliziumschichten

Zeitraum
2016-11-01  –  2018-12-31
Bewilligte Summe
146.089,85 EUR
Ausführende Stelle
Singulus Technologies Aktiengesellschaft - Niederlassung Fürstenfeldbruck, Fürstenfeldbruck
Förderkennzeichen
0324135C

Verbundvorhaben: EpiPower - Prozess- und Anlagenentwicklung für epitaktisch prozessierte Wafer; Teilvorhaben: Medienrecycling für Atmosphärendruck Silicium-Epitaxieprozesse

Zeitraum
2016-11-01  –  2018-12-31
Bewilligte Summe
140.089,95 EUR
Ausführende Stelle
centrotherm clean solutions GmbH, Blaubeuren
Förderkennzeichen
0324135D