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Beginn
2010-2019 (4)
Bewilligte Summe
100.000 EUR-200.000 EUR (2)
1 Mio. EUR-2 Mio. EUR (2)
Land
Baden-Württemberg (3)
Bayern (1)
Zuwendungsgeber
BMWK (4)
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4 Vorhaben gefunden
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Thema
Bewilligte Summe
Ausführende Stelle
Verbundvorhaben: EpiPower - Prozess- und Anlagenentwicklung für epitaktisch prozessierte Wafer; Teilvorhaben: Prozessentwicklung für Hochdurchsatz inline-Anlagen zur Herstellung und inline Charakterisierung für Epiaktische Wafer
1.778.455,00 EUR
Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme (ISE)
Verbundvorhaben: EpiPower - Prozess- und Anlagenentwicklung für epitaktisch prozessierte Wafer; Teilvorhaben: Entwicklung von Hochdurchsatz-Prozessen und Anlagen für epiaktische Wafer
1.429.327,00 EUR
NexWafe GmbH
Verbundvorhaben: EpiPower - Prozess- und Anlagenentwicklung für epitaktisch prozessierte Wafer; Teilvorhaben: Entwicklung von Hochdurchsatz inline-Anlagen für anodisch geätzte poröse Siliziumschichten
146.089,85 EUR
Singulus Technologies Aktiengesellschaft - Niederlassung Fürstenfeldbruck
Verbundvorhaben: EpiPower - Prozess- und Anlagenentwicklung für epitaktisch prozessierte Wafer; Teilvorhaben: Medienrecycling für Atmosphärendruck Silicium-Epitaxieprozesse
140.089,95 EUR
centrotherm clean solutions GmbH