DATENSCHUTZ
IMPRESSUM
Suchen
Wiki
Auswertungen
über EnArgus
SUCHEN
Synonyme in Suche einbeziehen
result_filter
update_filter
Beginn
2010-2019 (4)
Bewilligte Summe
100.000 EUR-200.000 EUR (2)
1 Mio. EUR-2 Mio. EUR (2)
Land
Baden-Württemberg (3)
Bayern (1)
Zuwendungsgeber
BMWK (4)
update_filter
search_results:
4 Vorhaben gefunden
sorting:
Förderkennzeichen - (Z-A)
nach Relevanz
Förderkennzeichen - (A-Z)
Förderkennzeichen - (Z-A)
Ausführende Stelle - (A-Z)
Ausführende Stelle - (Z-A)
Ort - (A-Z)
Ort - (Z-A)
Bewilligte Summe - (aufsteigend)
Bewilligte Summe - (absteigend)
Beginn - (aufsteigend)
Beginn - (absteigend)
Ende - (aufsteigend)
Ende - (absteigend)
Verbundvorhaben - (A-Z)
Verbundvorhaben - (Z-A)
Verbundvorhaben: EpiPower - Prozess- und Anlagenentwicklung für epitaktisch prozessierte Wafer; Teilvorhaben: Medienrecycling für Atmosphärendruck Silicium-Epitaxieprozesse
Zeitraum
2016-11-01 – 2018-12-31
Bewilligte Summe
140.089,95 EUR
Ausführende Stelle
centrotherm clean solutions GmbH, Blaubeuren
Förderkennzeichen
0324135D
Verbundvorhaben: EpiPower - Prozess- und Anlagenentwicklung für epitaktisch prozessierte Wafer; Teilvorhaben: Entwicklung von Hochdurchsatz inline-Anlagen für anodisch geätzte poröse Siliziumschichten
Zeitraum
2016-11-01 – 2018-12-31
Bewilligte Summe
146.089,85 EUR
Ausführende Stelle
Singulus Technologies Aktiengesellschaft - Niederlassung Fürstenfeldbruck, Fürstenfeldbruck
Förderkennzeichen
0324135C
Verbundvorhaben: EpiPower - Prozess- und Anlagenentwicklung für epitaktisch prozessierte Wafer; Teilvorhaben: Prozessentwicklung für Hochdurchsatz inline-Anlagen zur Herstellung und inline Charakterisierung für Epiaktische Wafer
Zeitraum
2016-11-01 – 2018-10-31
Bewilligte Summe
1.778.455,00 EUR
Ausführende Stelle
Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme (ISE), Freiburg im Breisgau
Förderkennzeichen
0324135B
Verbundvorhaben: EpiPower - Prozess- und Anlagenentwicklung für epitaktisch prozessierte Wafer; Teilvorhaben: Entwicklung von Hochdurchsatz-Prozessen und Anlagen für epiaktische Wafer
Zeitraum
2016-11-01 – 2018-12-31
Bewilligte Summe
1.429.327,00 EUR
Ausführende Stelle
NexWafe GmbH, Freiburg im Breisgau
Förderkennzeichen
0324135A