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Thema FKZ Ausführende Stelle
Verbundvorhaben: DYNASTO - Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten; Teilvorhaben: Entwicklung eines spektralen, optischen Messverfahrens zur offline und inline Prozesskontrolle u. -optimierung von TCO-Schichten 0324293F NXT GmbH
Verbundvorhaben: KISS-PRO - Künstliche Intelligenz und physikalische Simulation zur effizienten Überwachung einer HJT-Solarzellenproduktion; Teilvorhaben: Inline-Spektralreflektometrie und Inline-Spektralellipsometrie zur quantitativen Analyse von TCO und aSi-Schichten in HJT-Produktionslinien 03EE1259E NXT GmbH
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