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2000-2009 (8)
2010-2019 (15)
2020-2029 (13)
Bewilligte Summe
0 EUR-100.000 EUR (2)
100.000 EUR-200.000 EUR (6)
200.000 EUR-500.000 EUR (14)
500.000 EUR-1 Mio. EUR (6)
1 Mio. EUR-2 Mio. EUR (5)
2 Mio. EUR-3 Mio. EUR (3)
Land
Baden-Württemberg (1)
Berlin (1)
Nordrhein-Westfalen (5)
Rheinland-Pfalz (1)
Sachsen (28)
Zuwendungsgeber
BMBF (5)
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36 Vorhaben gefunden
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Thema
Beginn
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Verbundprojekt: Inline-Plasmaätzanlage für die Solarzellenfertigung - Teilvorhaben: 'Entwurf, Konstruktion und Erstellung eines Demonstrators'
2001-04-01
2003-12-31
Verbundvorhaben: PLATON - Plasma-texturierte Oberflächen für die kristalline Solarzellentechnologie
2003-11-01
2007-03-31
Verbundprojekt PRISMA - Teilprojekt HERKULES Herstellverfahren für kristalline Silicum-Dünnschicht-Solarzellen auf hochtemperaturstabilen Substraten; HERKULES D: Plasma-SiC-Schichten für kristalline Silicium-Dünnschichtsolarzellen
2003-11-01
2007-05-31
Erweiterte zukunftsweisende Produktion von Halbleitersolarzellen (ASCM)
2003-12-01
2007-11-30
Verbundprojekt: SiC-PASS - Siliciumkarbid als Passivierungsschicht auf der Rückseite von Solarzellen
2006-09-01
2008-12-31
Verbundprojekt: SLIM - Entwicklung eines Solarzellenkonzeptes, das die Verarbeitung ultra-dünner Wafer ohne signifikante Verbiegung und mit hoher Effizienz ermöglicht Teilprojekt - Plasmaätz- und PE CVD Prozesse für Solarzellenkonzepte mit hoher Effizienz.
2007-05-01
2009-10-31
Verbundprojekt: EpiTest B: Plasmaprozesse für Epitaktische Waferäquivalente
2007-06-01
2009-11-30
Verbundvorhaben: Spitzencluster Solarvalley, Startprojekt xµ-Zellen , Teilprojekt: 'Waferhandling, -prozessierung und -charakterisierung' Akronym: 'Wahaprocha'
2009-01-01
2011-03-31
Spitzencluster Solarvalley: Verbundvorhaben PV-Laser - Anwendung TLS-Technologie für neue Laserprozesse für die Wafer- und Zellbearbeitung - Teilvorhaben: 'Entwicklung und Optimierung von Passivierungsschichten für Laserabtrag basierende Zellkonzepte'
2010-01-01
2012-12-31
Verbundvorhaben: Spitzencluster-Solarvalley: Startverbund xµ-Zellen Phase 2- Hocheffiziente Solarzellen auf ultradünnen Silizium-Wafern; Teilprojekt: Innovative Verfahren zur Herstellung von HJT-Demonstrationszellen auf dünnen Wafern
2011-04-01
2013-12-31
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