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Thema FKZ Ausführende Stelle
Verbundvorhaben: G12 - Silizium Mono-Wafer Entwicklung von M2 auf G12: Zellgeometrien der Zukunft; Teilvorhaben: Entwicklung von Wafergrößen bis 210x210 mm² und größer: Erforschung und demonstratorische Implementierung der Trenntechnik für die Herstellung von Impflingen und Rohlingen 03EE1126F HK-Präzisionstechnik Gesellschaft mit beschränkter Haftung
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