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search_results: 8 Vorhaben gefunden
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Verbundvorhaben: DYNASTO- Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten; Teilvorhaben:Echtzeit-Plasmaprozesskontrolle u. Kammerzustandsüberwachung dur ch spektroskopischem Plasmamonitoring und In-situ Reflektometrie 107.561,85 EUR Plasus GmbH
Verbundvorhaben: DYNASTO - Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten; Teilvorhaben: Entwicklung eines spektralen, optischen Messverfahrens zur offline und inline Prozesskontrolle u. -optimierung von TCO-Schichten 147.815,50 EUR NXT GmbH
Verbundvorhaben: DYNASTO - Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen als Schlüssel für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten; Teilvorhaben: Modulintegration und Langzeitstabilität. 156.596,00 EUR Kiwa PI Berlin AG
Verbundvorhaben: DYNASTO - Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten; Teilvorhaben: Optimierung der PECVD Linearquellentechnologie zur dynamischen Abscheidung von a-Si-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen 168.991,93 EUR FAP Forschungs- und Applikationslabor Plasmatechnik GmbH Dresden
Verbundvorhaben: DYNASTO – Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen als Schlüssel für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellungskosten; Teilvorhaben: Dynamische PECVD für Hocheffizienz Si-Solarzellen - Grundlagenuntersuchungen 265.693,49 EUR Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM)
Verbundvorhaben: DYNASTO - Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten; Teilvorhaben: Evaluierung Prozess- und Anlagentechnologie zur dynamischen Abscheidung von a-Si:H Schichten für hocheffiziente Si-Solarzellen 801.493,00 EUR Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme (ISE)
Verbundvorhaben: DYNASTO - Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen als Schlüssel für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten; Teilvorhaben: Anlagentechnischen Konzepte für die dynamische Abscheidung von TCO bzw. aSi Schichten 874.603,12 EUR VON ARDENNE GmbH
Verbundvorhaben: DYNASTO - Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen als Schlüssel für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten; Teilvorhaben: Entwicklung des vorderseitigen Kontaktsystems 900.496,00 EUR Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie Gesellschaft mit beschränkter Haftung - Institut Materialien für die Photovoltaik (E-I5)