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Thema FKZ Ausführende Stelle
Verbundvorhaben Enkrist: Energieeinsparung bei der Herstellung von besseren Karbid- und Nitrid- Halbleiterkristallen 03ET1398A Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB)
Verbundvorhaben Enkrist: Energieeinsparung bei der Herstellung von besseren Karbid- und Nitrid- Halbleiterkristallen; Teilvorhaben: Charakterisierung von freistehenden GaN-Substraten durch elektrische Kenngrößen. 03ET1398B NaMLab gGmbH
Vorbundvorhaben Enkrist: Energieeinsparung bei der Herstellung von besseren Karbid- und Nitrid- Halbleiterkristallen 03ET1398C SiCrystal GmbH
Verbundvorhaben Enkrist: Energieeinsparung bei der Herstellung von besseren Karbid- und Nitrid-Halbleiterkristallen 03ET1398D Freiberger Compound Materials GmbH
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