Verbundvorhaben: PariS - Passivierende Kontakte für kostengünstige und hocheffiziente IBC-Solarzellen; Teilvorhaben: PVD-Prozessentwicklung für in-situ aSi und SiOx Mehrschichtstapel
Zeitraum
2024-06-01 – 2027-05-31
Bewilligte Summe
128.772,59 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
03EE1216B
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]
Verbundvorhaben
01264758/1 – PariS - Entwicklung von TOPCon IBC Zellen mit gesputterten Poly-Si Kontakten, Innovative Strukturierung von PVD-Schichten
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Ziel im Projekt PariS ist die Entwicklung einer voll-ständig durch PVD (Physikalische Gasphasenabscheidung - Sputter) Technik hergestellten Poly-Silizium (Si) IBC (Interdigitated Back Contact) Solarzelle mit passivierenden Kontaktstrukturen. Dazu erfolgt im Teilvorhaben die Prozessentwicklung und -optimierung für die in-situ Abscheidung eines Mehrfachstapels aus amorphen (a)-Si und Siliziumoxid (SiOx)-Schichten im Pilotmaßstab an einer für dieses Projekt konzipierten PVD-Sputteranlage mit hohem Durchsatz. Auf diese Weise soll in Verbindung mit einer anschließenden Laserstrukturierung der Wirkungsgrad der Solarzellen mit >25% gegenüber der Zebra Solarzelle gesteigert und der Poly-Zebra Prozess vereinfacht werden, wodurch sich der Durchsatz in der Produktion erhöht.