Erweiterte zukunftsweisende Produktion von Halbleitersolarzellen (ASCM)
Zeitraum
2003-12-01 – 2007-11-30
Bewilligte Summe
1.045.873,00 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0329930B
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Gesamtentwicklung [EB1014]
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Das Forschungsprojekt verfolgte das Ziel, industrietaugliche plasmabasierte Technologieschritte zur Herstellung kristalliner Solarzellen weiterzuentwickeln. Die Anwendung der Plasmaätztechnologie bietet dabei umfangreiche Möglichkeiten (z.B. Kombinierbarkeit von Vakuumprozessen) zur signifikanten Vereinfachung des Prozessflusses in der Solarzellenproduktion. Besonderer Schwerpunkt dieses Forschungsvorhabens war, neben der Entwicklung plasmaunterstützter Waferbearbeitungsschritte (Siliziumätzen, Phosphorsilikatglasätzen, Konditionierung sowie doppelseitige SiNx Abscheidung) insbesondere deren Realisierung im Inlineverfahren.\nMit dem Aufbau der 'MAiA' (Multiple Application inline Anlage) entwickelte die Roth & Rau AG erstmals eine Prozessanlage mit mehreren gekoppelten Plasmaprozessen.
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