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Verbundprojekt: Inline-Plasmaätzanlage für die Solarzellenfertigung

Zeitraum
2001-04-01  –  2003-12-31
Bewilligte Summe
184.375,00 EUR
Ausführende Stelle
Schmid Technology Systems GmbH, Niedereschach, Baden-Württemberg
Förderkennzeichen
0329879F
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]
Verbundvorhaben
01018216/1  –  Inline-Plasmaätzanlage
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
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