Verbundprojekt: CIS-Abscheidung mit hoher Produktivität. Konzeptionelle Weiterentwicklung der CIS-Abscheidung und Umsetzung und Nachweis einer hohen Produktivität im CIS-Prozess und damit für die gesamte Pilotlinie.
Zeitraum
2002-06-01 – 2006-05-31
Bewilligte Summe
1.117.132,00 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0329843A
Leistungsplansystematik
Dünnschichttechnologien Chalkopyrite [EB1022]
Verbundvorhaben
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Ziel des Kooperationsvorhabens war die Weiterentwicklung einer Hochraten-Verdampferquelle für eine Kapazität von 1,2 MWP/a, sowie eine Steigerung der Produktivität der Pilotlinie. Dies erforderte die Entwicklung von geeigneten Substratheizungen zum kontrollierteren Aufheizen und Abkühlen der Glasplatten und Weiterentwicklung des Substrattransportes für höhere Geschwindigkeiten, sowie die Weiterentwicklung der Beschichtungsanlage im Hinblick auf Produktivität und Ausfallsicherheit, wie auch die Weiterentwicklung der Qualitätssicherung im CIS-Prozess. Ferner sollte es über die laufenden Pilotierung von CIS-Modulen hinaus möglich sein, die im Projekt entwickelte Technik bei entsprechendem Qualifizierungserfolg konkret in der auf 10 MW/a Produktionsvolumen angesetzten Serienfertigung einzusetzen.
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