2006-10-01  –  2010-03-31

653.687,00 EUR

Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM), Dresden, Sachsen

0329563E

Dünnschichttechnologien Silizium [EB1021]

Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)

Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)

Energie

Das Gesamtziel des Vorhabens besteht in der Weiterentwicklung eines hochproduktiven dynamischen Verfahrens zur Abscheidung von a-Si:H-Solarzellen auf flexiblen Polymerfolien mittels einer VHF-Plasma-CVD-Durchlaufanlage. Das Vorhaben beinhaltet die Entwicklung einer Technologie zur Herstellung einfacher pin – Solarzellen auf flexiblem Bandsubstrat einschließlich der Bearbeitung von Rolle auf Rolle. Ziel ist es, das anlagentechnische Know How für die Beschichtung nicht nur flexibler pin-Solarzellen zu erlangen, sondern diese Technologie für weitere Bereiche, wie z. B. den medizinischen Bereich, Labels usw. zu nutzen. Die prinzipielle Eignung der VHF-Durchlaufanlage für die Beschichtung von a-Si:H Solarzellen mit hohen Raten (>100nm/min) wurde bereits im Vorläuferprojekt nachgewiesen.