Großflächige Abscheidung von a-Silizium-pin-Solarzellen mit einer VHF-PCVD-Durchlaufanlage
Zeitraum
2001-06-01 – 2004-04-30
Bewilligte Summe
699.346,57 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0329563C
Leistungsplansystematik
Dünnschichttechnologien Silizium [EB1021]
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
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