Chemie der Laserinduzierten Abscheidung von Germanium, Silizium und Germanium-Silizium-Legierungen
Zeitraum
1991-10-01 – 1996-12-31
Bewilligte Summe
1.299.397,70 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0329172A/9
Leistungsplansystematik
Dünnschichttechnologien Sonstige Materialien/Technologien [EB1028]
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
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