Gasphasenabscheidung multikristalliner Silicium-Dünnschichtsysteme auf Fremdsubstraten
Zeitraum
1994-01-01 – 2000-03-31
Bewilligte Summe
3.160.648,42 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0328835B/6
Leistungsplansystematik
Dünnschichttechnologien Silizium [EB1021]
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
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