Verbundprojekt: EpiTest B: Plasmaprozesse für Epitaktische Waferäquivalente
Zeitraum
2007-06-01 – 2009-11-30
Bewilligte Summe
163.748,55 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0327672B
Leistungsplansystematik
Dünnschichttechnologien Silizium [EB1021]
Verbundvorhaben
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Ziel des Verbundprojekts EpiTest ist, in einer Technikumsphase zur Herstellung epitaktischer Waferäquivalent-Solarzellen vorhandene Qualitäts- und Durchsatzprobleme zu erkennen und zu bereinigen.\nIm Ergebnis sollen Module mit Flächen um 1 m2 mit Wirkungsgraden um 13,5% stabil und reproduzierbar hergestellt werden können. Ein Schwerpunkt des Projekts ist die Silizium-Epitaxie, die mit Betriebsdauern über mehrere Stunden getestet werden soll. Weitere Schwerpunkte bei der Solarzellentechnologie sind auch Plasmaverfahren, um an das Waferäquivalent angepasste Prozessschritte zu entwickeln. \nDie epitaktischen Waferäquivalente können mit geringen Modifikationen in die bestehenden Prozesslinien eingespeist werden und somit die Fortschritte und Investitionen der Silizium-Wafertechnologie verwenden.
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