2015-12-01  –  2018-11-30

913.176,97 EUR

Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB), Erlangen, Bayern

0325938C

Kristallines Silizium Basismaterial [EB1011]

01165109/1  –  Niedrige Waferkosten durch Recycling von SIlizium-Sägeabrieb und Einsatz von Wasser als kostensparende Trägerflüssigkeit im Vieldrahtsägeprozess

Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)

Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)

Energie

Die geplanten Forschungs- und Entwicklungsarbeiten des REWASI Vorhabens zielen darauf ab, a) ein tragfähiges Konzept für Wasser als kostensparende Trägerflüssigkeit im slurrybasierten Vieldrahtsägeprozess zur Siliziumwafer-Fertigung und b) eine fundierte technologische Basis zur Rückgewinnung von Silizium-Sägeabrieb für die Technologie ab 2016 oder sogar früher zu erarbeiten und zeitnah in die Produktion zu überführen. Durch die in diesem Projekt zu bearbeitenden Themen im Wafering- und im Bereich der Siliziumrückgewinnung wird eine Reduktion der Waferkosten um mindestens 40 % gegenüber den bisherigen Kosten erwartet. Im Rahmen des REWASI Vorhabens wurde ein integrativer Ansatzes zwischen Slurryproduzent bzw. Slurry- und Siliziumrecycling (SiC Processing Deutschland GmbH) und Wafering (PV Crystalox Solar Silicon GmbH) und einer engen Vernetzung mit den beteiligten Forschungseinrichtungen Fraunhofer Technologiezentrum für Halbleitermaterialien THM, dem Fraunhofer Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB und dem Fraunhofer Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA gewählt. Fraunhofer THM entwickelt hierbei die Basisparameter für den Sägeprozess mit wässrigen Slurries. Das Fraunhofer IPA untersucht Möglichkeiten zur Stabilisierung der SiC-Schneidpartikel in einer wässrigen Slurry und deren effizientes Recycling. Der Schwerpunkt der Arbeiten am Fraunhofer IISB liegt in der Entwicklung eines kostengünstigen und materialeffizienten Recyclingprozesses für hochwertiges Silizium aus SiC haltigen Sägeschlämmen.