Verbundprojekt: Entwicklung und Untersuchung der Beschichtung von Folienbändern mit Kontakten, Barrieren und Solarzellen (FlexSol); Teilvorhaben: Anpassung eines VHF- Linearquellen Reaktorraumes für Folienbeschichtung im Durchlaufverfahren
Zeitraum
2012-10-01 – 2015-09-30
Bewilligte Summe
182.886,79 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0325442B
Leistungsplansystematik
Dünnschichttechnologien Silizium [EB1021]
Verbundvorhaben
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Ziel des Vorhabens ist die Weiterentwicklung einer preiswerten, ressourcenschonenden Beschichtungstechnologie für Dünnschichtsolarzellen. Als Ausgangspunkt dient die plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung mit sehr hohen Anregungsfrequenzen (VHF-PECVD). Die eingesetzten linearen Plasmaquellen ermöglichen die Aufskalierung der Bearbeitungsbreite (bis zu 2 Meter) und der Anregungsfrequenz (bis zu 150 Megahertz) und damit die hochproduktive Abscheidung von amorphem und mikrokristallinem Silizium im Durchlaufprinzip. Das Gesamtziel besteht in der Untersuchung des Rolle-zu-Rolle-Verfahrens (RzR) von der Auswahl der Foliensubstrate über die Folienbeschichtung mit Barriere- und Kontaktschicht bis hin zur Untersuchung der Stressbelastung und Bandbeschichtung der Tandemsolarzellen.
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