Verbundvorhaben: SmartFab - Smarte Fabrikplanung für vollintegrierte, intelligente Hochdurchsatzlinien; Teilvorhaben: Materielle und virtuelle Verfolgung von Wafern mit und ohne MES
Zeitraum
2026-06-01 – 2029-05-31
Bewilligte Summe
68.454,83 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
03EE1261D
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Gesamtentwicklung [EB1014]
Verbundvorhaben
01288338/1 – SmartFab - Smarte Fabrikplanung für vollintegrierte, intelligente Hochdurchsatzlinien
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Energie (BMWE.IIC2)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Es wird geprüft, ob das Einlesen der physischen Markierung auf dem Wafer direkt in die Software der Kamerainspektion, zur direkten eindeutigen Identifizierung der pro Sample gewonnenen Messdaten möglich ist. Im Rahmen des Vorhabens wird ein kamerabasiertes Messsystemen an die Datenerfas-sung der Reallabor-Linie am ISC eingebunden. Es werden Strategien zur Reduktion der im MES oder lokal auf den Messsystemen vorgehaltenen Datenmenge erarbeitet, um eine speichereffiziente Aufbewahrung relevanter Daten über einen möglichst großen Zeitraum zu ermöglichen. Gegebenenfalls wird mit einer abgestuften Detailtiefe je nach Alter der Daten gearbeitet. Es werden Anwendungen entwickelt, bei denen die mittels physikalischer Markierungen auf den Wafern erreichte, eindeutige Zuordnung der ermittelten Messdaten bereits auf Messsystemebene (ohne MES) nutzbar ist, um beispielsweise bessere Fehlerklassierung zu erreichen oder redundante Messdaten einzusparen.