Verbundvorhaben: EuroPlas - Entwicklung umweltverträglicher, hocheffizienter Plasma-Prozesse für die kostengünstige industrielle Herstellung von Solarzellen, Teilvorhaben Roth & Rau AG: Plasmaprozessentwicklung und Zellherstellung
Zeitraum
2012-07-01 – 2015-12-31
Bewilligte Summe
431.926,71 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0325371A
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]
Verbundvorhaben
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Das Forscherteam von EuroPlas arbeitet daran, durch Einführung umweltschonender Plasmaätzprozesse die Kosten für die Herstellung siliziumbasierter Solarzellen zu reduzieren, die Zelleffizienz zu steigern und die Umweltverträglichkeit der Zellherstellung weiter zu optimieren. Dazu wird von den Verbundpartnern eine hochproduktive Inline-Plasmaätzanlage mit Prozessgasversorgung und optimierter Abgasbehandlung entwickelt, die den Herstellungsprozess von Solarzellen effizienter und umweltverträglicher macht – bei gleichzeitiger Qualitätssteigerung der Solarzellen. Die üblicherweise bei der Solarzellenproduktion eingesetzten klimawirksamen Gase, wie Schwefelhexafluorid (SF6), Stickstofftrifluorid (NF3) sowie teil- beziehungsweise vollfluorierte Kohlenwasserstoffe (HFKW und FKW), werden durch klimaneutrale fluor- und chlorhaltige Prozessgasmischungen ersetzt.
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