Verbundvorhaben ALPHA - Auf Lichtstreuung basierte Prozessregelung für die Herstellung von Aluminium und Bor dotierten Zinkoxid-Frontkontakten für Siliziumdünnschichtsolarzellen, Teilvorhaben Entwicklung des Regelkonzepts
Zeitraum
2011-11-01 – 2014-04-30
Bewilligte Summe
378.286,62 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0325356B
Leistungsplansystematik
Dünnschichttechnologien Silizium [EB1021]
Verbundvorhaben
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
In der Silizium-Dünnschichttechnologie ist ein effektives Lichtmanagement durch texturierte Frontkontakte von entscheidender Bedeutung für die Stromausbeute und damit für die Effizienz der Solarzelle. Im Rahmen dieses Projekts wurde ein inlinefähiger 2D-winkelaufgelöster Streulichtmessplatz realisiert. Die Streulichtdaten ergeben ein detailliertes Bild der Frontkontakt- Oberflächenstruktur und können für die Beurteilung der Texturgüte eingesetzt werden. Dazu wurde ein Texturqualitätsparameter für gesputtertes, texturgeätztes Zinkoxid definiert, der sowohl mit der Textureignung für Solarzellen als auch mit den Herstellungsparametern des Frontkontakts korreliert. Letztere Korrelation wurde dazu eingesetzt, eine Rückkopplungsschleife zur Regelung der Oberflächentextur zu etablieren.
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