Aufskalierung einer VHF-Linienquelle für höhere Frequenzen und größere Bearbeitungsbreiten
Zeitraum
2009-09-01 – 2013-03-31
Bewilligte Summe
966.810,83 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0325156
Leistungsplansystematik
Dünnschichttechnologien Silizium [EB1021]
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Das Gesamtziel des Projektes ist es, die Leistung der VHF(Very High Frequency)-PECVD(Plasma- Enhanced Chemical Vapour-Deposition)-Linienquelle bei der hochproduktiven Abscheidung von amorphen und mikrokristallinen Siliciumschichten zu steigern. Zuerst wird in umfangreichen technologischen Entwicklungsschritten der Abscheidungsprozess zur dynamischen Herstellung der p-i-n-Solarzellen bei höheren Anregungsfrequenzen bis 162 Megahertz angepasst, um Solarzellen bei wesentlich höheren Raten abscheiden zu können, ohne die Schichtalterung und den stabilen Wirkungsgrad zu beeinträchtigen. Der zweite Schwerpunkt des Projektes gilt der Vergrößerung des Arbeitsbereiches der VHF-Linienquelle auf eine Länge von bis zu 70 Zentimetern, um die Produktivität des Abscheidungsprozesses zu erhöhen.
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