Verbundvorhaben: TuKaN - Tunnelkontakte auf N-Typ: für die Metallisierung mit Siebdruck, Teilvorhaben: Entwicklung einer industrietauglichen CVD-Quelle für hochdotierte wasserstoffarme Silizium-Schichten
Zeitraum
2017-10-01 – 2021-03-31
Bewilligte Summe
148.414,29 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0324198C
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]
Verbundvorhaben
01178738/1 – Tunnelkontakte auf N-Typ: für die Metallisierung mit Siebdruck
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Die erforderlichen Quellen für die katalytische (Cat-) und plasmaunterstützte (PE-) chemische Gasphasenabscheidung (CVD) sollen in dem Teilvorhaben konzipiert werden. Insbesondere soll das Konzept für die Hochtemperatur PECVD-Anwendung erarbeitet und weiterentwickelt werden. Die PECVD-Quelle soll anschließend in die Demonstrationsanlage integriert und erprobt werden. Eine kostenoptimierte Quelle und der entsprechende Abscheideprozess sollen für hydrogenierte amorphe Silizium (a-Si:H) Schichten optimiert werden.
Weitere Informationen