Verbundvorhaben DIANA: Entwicklung des Diamantdraht-Trennprozesses und notwendiger Reinigungstechnologien zur Silizium-Waferherstellung; Teilvorhaben: Analyse und Optimierung der Trenn- und Reinigungsprozesse.
Zeitraum
2016-07-01 – 2019-06-30
Bewilligte Summe
2.532.874,00 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0324087B
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Basismaterial [EB1011]
Verbundvorhaben
01171054/1 – Entwicklung des Diamantdraht-Trennprozesses und notwendiger Reinigungstechnologien zur Silizium-Waferherstellung
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Mit der Weiterentwicklung der Sägeprozesse und aller vor- und nachgelagerter Fertigungsschritte soll die letzte Entwicklungsstufe realisiert werden, bevor der Diamantdrahttrennprozess seine Anwendung in der industriellen Fertigung findet. Die Schwerpunkte des FhG-Teilvorhabens liegen dabei vor allem auf den Arbeitspaketen welche sich mit der Diamantdraht-Trenntechnologie selbst sowie mit alternativen Trenntechnologien, der Bruchfestigkeit sehr dünner Wafer sowie der Optimierung des Waferreinigungsprozesses befassen.
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