Verbundvorhaben: SPRINT - Schnelle Laserprozesse für die Strukturierung von TBC Solarzellen; Teilvorhaben: Neuartiger Hochleistungslaser mit angepassten Pulsparametern im grünen Spektralbereich auf Basis des InnoSlab Verstärkers
Zeitraum
2026-06-01 – 2029-05-31
Bewilligte Summe
376.315,57 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
03EE1245C
Leistungsplansystematik
Photovoltaik - kristallines Silizium - Zelle, Modul [EB1012]
Verbundvorhaben
01285144/1 – SPRINT - Schnelle Laserprozesse für die Strukturierung von TBC Solarzellen
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Energie (BMWE.IIC2)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
In SPRINT sollen Technologien entwickelt werden, die das schnelle Abrastern der Oberfläche von großen Wafern ermöglichen, um den in der Industrie üblichen Durchsatz zu erreichen, ohne dass sich die Genauigkeit der Strukturierung verschlechtert. Die Schnelligkeit soll durch einen inline-Prozess erreicht werden, bei dem der Wafer durch ein Transportsystem mit nahezu kontinuierlicher Geschwindigkeit in eine Dimension bewegt wird, während die andere Dimension mittels einem durch einen Polygonscanner sehr schnell abgelenkten Laserstrahl abgerastert wird. Die Genauigkeit wird durch einen Regelkreis ermöglicht, in dem die Position des Wafers durch eine Sensoranordnung permanent gemessen und die Transportbewegung an den Scanner übermittelt wird. Dazu wird das ISE zusammen mit Moewe und Amphos den im Forschungsprojekt 'PoLariS - Produktionstechnologie für die Laserbearbeitung kristalliner Siliziumsolarzellen der nächsten Generation' etablierten 'on the Fly'-Polygon-Scanner Technologie zur Kontaktöffnung von PERC-Zellen für die in diesem Forschungsvorhaben adressierten IBC Anwendungen weiterentwickeln und um den wichtigen Aspekt der räumlichen Strahlformung erweitern.