Verbundvorhaben: IBCinD - Innovative und kostengünstige Prozesstechnologien für höchsteffiziente POLO2 IBC Zellen für eine Produktion in Deutschland; Teilvorhaben: Entwicklung neuartiger Nasschemieprozesse und -additive für innovative IBC-Solarzellen
Zeitraum
2026-02-01 – 2029-01-31
Bewilligte Summe
258.050,80 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
03EE1247C
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Gesamtentwicklung [EB1014]
Verbundvorhaben
01285505/1 – IBCinD - Innovative und kostengünstige Prozesstechnologien für höchsteffiziente POLO2 IBC Zellen für eine
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Energie (BMWE.IIC2)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Im RENA Teilvorhaben des Förderprojekts 'IBCinD' sollen Nasschemieprozesse inklusive der entsprechenden Additive für TOPCon-Solarzellen sowie für zukünftige IBC-Solarzellen evaluiert und wei-terentwickelt werden. Innerhalb des 'IBCinD'-Projektes werden sowohl p-typ POLO-, als auch n-typ POLO-Schichten per LPCVD/PECVD hergestellt. Darauf wird ein < 20 n dünnes lokales Schutzoxid erzeugt, welches zur späteren Maskierung genutzt wird. Die poly-Si Schicht soll in den nicht mit Schutzoxid bedeckten Bereichen lokal geätzt werden. Hierfür wird ein spezielles Additiv genutzt, welches selektives Ätzen ermöglicht (auf Silicium wird geätzt, jedoch wenig bis gar nicht auf dem zum Schutz erzeugten Siliziumoxid). Diese hochselektive Ätzchemie wurde von RENA bereits für die Anwendung in TOPCon-Solarzellen vorentwickelt und soll innerhalb des Förderprojektes weiterentwickelt und auf die Anwendung von POLO2 ICB Solarzellen (n-typ POLO und p-typ POLO Kontakte) erweitert werden. Es beinhaltet ein spezielles Additiv für alkalische Prozesse, welches die Ätzselektivität zwischen Silizium und Siliziumoxid signifikant erhöht. Somit kann Silicium geätzt werden, während das Siliziumoxid als Ätzbarriere dienen kann. Im Förderprojekt 'IBCinD' soll dieses Additiv weiter entwickelt und optimiert und vom ISFH erstmals mit ultradünnen Oxidbarrieren, die praktisch keine Prozessmehrkosten erzeugen, kombiniert und auf die Herstellung von POLO2 IBC Solarzellen angewendet werden. Desweiteren sollen nachfolgende Reinigungen ebenso untersucht und optimiert werden. Auch hierfür entwickelt RENA ein spezielles Additiv zur Verbesserung der Reinigungswirkung in den HF-/HCl-basierten Reinigungsschritten. Dieses soll innerhalb des Projektes ebenso weiterentwickelt und optimiert werden und weiterhin die sauren Reinigungen mit Hilfe des Additivs optimiert werden. In einem Unterauftrag wird das ISFH die Prozesse mit ätzselektivem bzw. Reinigungsadditiv von RENA auf industrietypischen PERC+ Teststrukturen u