2017-11-01  –  2021-02-28

370.979,97 EUR

Universität Stuttgart - Fakultät 6 Luft- und Raumfahrttechnik und Geodäsie - Institut für Raumfahrtsysteme, Stuttgart, Baden-Württemberg

03ET1519C

Energiesparende Industrieverfahren - Fertigungstechnik [EA3251]

01180655/1  –  Oxycontrol: Energieeffiziente Beschichtungsprozesse zur Herstellung spektral selektiver Schichten auf Bauteiloberflächen

Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)

Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESN2)

Energie

Im Rahmen des Projektvorhabens Oxycontrol soll der Herstellungsprozess spektral selektiver Schichten auf Bauteiloberflächen auf Energieeffizienz hin optimiert werden. Es werden ein schneller und hochempfindlicher Sauerstoffsensor sowie eine Echtzeit-Prozessregelung entwickelt. Dies ermöglicht die Herstellung kritischer Metalloxidschichten mit hohem Durchsatz und niedrigem Energieaufwand. Schließlich werden industrierelevante prozesskritische oxidische Schichten sowie Low-E- und Solar Control-Schichten mit der neuen Prozesssteuerung eingefahren, um die Eigenschaften der Schichten sowie die Prozessstabilität zu demonstrieren. Weiterhin ist das Ziel, den Energieaufwand bei der Herstellung oxidischer Schichten um einen Faktor 2 zu reduzieren.