2019-05-01  –  2022-08-31

520.059,00 EUR

Singulus Technologies Aktiengesellschaft, Kahl a. Main, Bayern

03EE1012B

Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]

01187528/1  –  NanoPERC - Industrielle Prozesse für nanokontaktierte poly-Si-Schichten einer PERC-Nachfolgetechnologie mit passivierenden Kontakten

Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)

Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)

Energie

SINGULUS bearbeitet im Projekt 'NanoPERC' die Entwicklung von industriellen Prozessen für nanokontaktierte poly-Si Schichten einer PERC-nachfolgetechnologie mit passivierten Kontakten. Die Kernaufgabe ist es auf dem Siliziumwafer mittels nasschemischer Oxidation ein dünnes Tunneloxid und darüber eine hochdotierte polykristalline Siliziumschicht mittels Sputterverfahren abzuscheiden. Beide Prozessschritte werden tauglich für Inline-Anlagen konzipiert, um eine industrielle Umsetzung der passivierten Kontakte (POLO-Zelle) ohne die Verwendung von toxischen Gasen in CVD Prozessen, wie es bislang Stand der Technik ist, zu erreichen. Dafür wird zunächst eine geeignete Sputtertechnologie bestimmt und zur Industrietauglichkeit weiterentwickelt. Das anschließende Tempern der Schichten und die Dotierung werden angepasst um eine exzellente Kontaktierung zu erreichen. Für das Tunneloxid wird eine ozonbasierte einseitige Oxidation entwickelt, mit der sehr gute Passiviereigenschaften möglich sind. Zusammen mit dem ISFH wird diese Entwicklung dahingehend gebracht eine komplette Zelle mit diesem passivierten p+-Typ Kontakt auf der Rückseite und der sehr effizienten n+-Typ PERC Kontakt- und Passivierschicht auf der Frontseite zu fertigen. Es werden Zellen mit einem Wirkungsgrad von mehr als 23,5% anvisiert, dabei werden die PVD-Schichten von SINGULUS in einen schlanken Prozessfluss integriert und ein Demonstratormodul hergestellt.