Touch - Technologie- und Charakterisierungsplattform für die Entwicklung von hoch-effizienten Silizium-Heterostruktursolarzellen
Zeitraum
2018-11-01 – 2022-07-31
Bewilligte Summe
2.630.167,00 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0324351
Leistungsplansystematik
Forschungsinfrastruktur [EB1080]
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Das Ziel des Vorhabens ist die Erweiterung der Prozesstechnologie zur Herstellung von Silizium-Heterojunction Solarzellen (SHJ). Dazu ist die Inbetriebnahme und das Einfahren einer Sputteranlage zur Abscheidung von transparenten, leitfähigen Oxiden (TCO), und dazugehöriger Charakterisierungstechnologien geplant. Letztere beinhalten den Aufbau einer Ellipsometrie-Messapparatur zur Dickenbestimmung von Dünnschichten auf Wafern sowie eines UV-Raman Messsystems zur Charakterisierung des kristallinen Volumenanteils von Dünnschichten auf Wafern.
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