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Verbundvorhaben: PhocoHila - Photonische Prozesse zum schnellen, präzisen und flexiblen Heizen von Halbleiterbauelementen; Teilvorhaben: Ultraschnelle in situ-Analyse von Annealing-Prozessen mittels Pump-Probe Messtechnik

Zeitraum
2022-06-01  –  2024-12-31
Bewilligte Summe
185.969,59 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
03EE1125B
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]
Verbundvorhaben
01239237/1  –  PhocoHila - Photonische Prozesse zum schnellen, präzisen und flexiblen Heizen von Halbleiterbauelementen
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
 
Ziel des Projektes ist das breite Spektrum der thermischen Prozesse (Annealing) in der Solarzellenproduktion mit 'Laser' als Wärmequelle abzudecken und die Limitierungen der Ofentechnologie zu überwinden. Folgender Bedarf wird adressiert: Örtlich selektive Behandlung einzelner Schichten in komplexen Strukturen wie Perowskit- und Heterosolarzellen sollen überhaupt möglich gemacht werden. In Öfen werden die Werkstücke als Ganzes geheizt. Während manche Schichten von der Wärme profitieren, degradieren andere. Laser bieten über angepasste Wellenlänge, Strahlformung und Pulsdauern drei Strategien zum selektiven Wärmeeintrag. • Temperaturen > 1400°C im Werkstück sollen energieeffizient erreicht werden. Im Gegensatz zu Lampen oder elektrischen Elementen können Laser Materialien heizen, während sie selbst kalt bleiben. Die Anforderungen an das Kühlsystem und Stromverbrauch der Anlage sinken dabei. • Die Geschwindigkeit, die Präzision und die Flexibilität des Wärmeeintrags sollen erheblich steigen. Laser können auf Knopfdruck an- und ausgeschaltet werden und sind somit hoch dynamische Quellen. • Die physikalischen Mechanismen im Werkstück sollen durch die breiten Prozessoptionen mit Lasern besser verstanden werden. Die Materialien in Solarzellen sind vielseitig, ebenso wie zur Verfügung stehenden Laser. Im Konsortium in PhocoHila soll zum ersten Mal ein Gesamtbild erzeugt werden, das die Anforderungen der Materialien mit den verfügbaren Strahlquellen verknüpft. Daraus kann für die verschiedenen Anwendungen im Kontext der jeweils geltenden Randbedingungen die optimale thermische Behandlung ermöglicht werden. Des Weiteren soll in PhocoHila die Laser-Materie Interaktion in unterschiedlichen Szenarien mit dediziertem Messequipment detailliert untersucht werden. Auch Anlagenentwicklung wird in diesem Projekt adressiert. Es soll eine Prototyp Laseranlage mit integrierter Vakuum-Prozesskammer gebaut werden, die Annealing bei hohen Temperaturen über dem Schmelzpunkt ermöglicht.